导报讯 日前,在有研亿金新材料有限公司(下称“有研亿金”)德州生产基地,经过熔炼、压加、焊接、机加工等一道道精密工序,一块块高端靶材逐渐成型。
这些看似普通的“金属块”,就是芯片的“神经脉络”,虽仅占芯片成本的3%—5%,却是“关键少数”。
有研亿金德州生产基地副总经理万小勇介绍,靶材作为芯片的导线与屏障材料,从纯度到镀膜均匀性,每一项标准都严苛到纳米级别。
有研亿金深耕靶材技术20余年,从早期的4—6英寸小尺寸靶材,逐步攻克12英寸大尺寸靶材技术,如今已实现铜系靶、钴靶、钽靶、铝靶、钛靶等百余款产品全覆盖,纯度提至99.99999%,达到国际顶尖水平。金属杂质含量控制在0.1ppm以内,相当于每吨材料中杂质含量不超过0.1克。
“纳米级布线中,任何微小缺陷都可能导致芯片失效。”万小勇解释了靶材生产对精度的极致追求。为保障产品质量,企业引入自动化产线与定制化装备,对靶材生产全流程进行精密管控,严格控制材料产品缺陷,良品率超99%,产品质量满足全球尖端的3nm芯片需求。
原材料阶段,精准检测成分纯度与组织均匀性,从源头把控品质；半成品环节,通过专业检测手段核查焊合率、排查内部隐性缺陷,杜绝问题流转；成品阶段,对尺寸精度、外观平整度及包装完整性进行全方位检验。各环节均配套完整的操作规范与明确的检验标准,层层严苛把关。
凭借过硬的产品质量与技术实力,有研亿金成为国内高端靶材领域的龙头企业,是数十家芯片厂的第一供应商,其生产的铜系列靶材国内市场占有率居领先地位,为国产高端制程芯片的发展提供了坚实支撑。
(刘潇 张小璐)
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